実績・取扱製品 Achievement

エキシマ照射装置

ＵＶ応用／関連装置

エキシマ照射装置

非常にエネルギーの高い短波長紫外線を用いて高効率な製造材料の精密洗浄、改質を行います。さらに瞬時点灯、単一光ゆえの低温処理などの特長も持っています。