実績・取扱製品 Achievement

大気圧プラズマ装置

ＵＶ応用／関連装置

大気圧プラズマ装置

真空を特に必要としない常圧プロセスであり低温連続処理が可能なため、常圧・高速処理による高スループットが期待できます。またリモート型ソースにより、ワークへのダメージがほとんどなく効率の良い、精密洗浄、改質が可能です。コストの高い希ガス（He.Arガス）を使用せず、N2.O2等をを使用するため低コストのシステムです。